摘要：針對集成光柵-反射鏡位移測試中工藝及裝配誤差導(dǎo)致反射鏡與光柵不能平行的問題,本文設(shè)計了一種可自主調(diào)節(jié)的反射鏡.與傳統(tǒng)的工藝精度控制不同,方案重點對可調(diào)節(jié)反射鏡結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計,反射鏡的偏轉(zhuǎn)采用電容板來調(diào)節(jié).建立了單層光柵與反射鏡測量位移的理論模型,分析了兩者不平行導(dǎo)致的測量誤差,通過Ansys軟件進(jìn)行靜力學(xué)分析,施加0~50V電壓,仿真得到靜電力作用下反射鏡偏轉(zhuǎn)最大位移為7μm,提取的最大應(yīng)力35MPa.仿真結(jié)果表明所設(shè)計的反射鏡可調(diào)節(jié)范圍大于不平行誤差,從理論上驗證了反射鏡調(diào)節(jié)的可行性.