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全自動硅片下料機碎片分析與優化設計
段建國; 穆星澤 中國電子科技集團公司第二研究所; 山西太原030024
- 全自動硅片下料機
- 碎片分析與處理
- 結構優化
摘要：全自動硅片下料機在生產過程中,容易受到刻蝕工藝機臺碎片的影響,出現堵片、流片等問題,從而降低良品率。通過分析工藝機臺產生的幾種碎片形態,提出了加裝碎片檢測裝置和改造下料機翻轉結構的解決方案;該方案能及時檢測碎片,并通過優化后的結構處理碎片,提高了設備的穩定性。
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