摘要：針對太陽能電池PN結制備技術，本文分析工藝設計過程中，硅片磷濃度分布情況會給電池性能造成極大的影響。現有的太陽電池PN結制備工藝中，多步擴散制備工藝具有較強的應用優勢，能夠減少死層，增加電活性磷摻雜量。文中重點對多步擴散制備工藝的應用相關問題，以及硅基薄膜多結太陽能制備的其他工藝，做了簡單的論述分析。