計量電鏡中納米位移臺控制方法研究

摘要：針對計量型掃描電鏡成像方法的特殊需求,提出了一種新型的納米位移臺掃描運動控制方法。利用乘法DA控制方法實現(xiàn)了納米位移臺驅(qū)動信號的整形輸出。利用該模擬信號實現(xiàn)了納米位移臺的掃描范圍的增益控制,掃描圖像的旋轉(zhuǎn)和偏移控制。該控制方法有效地的保持了納米位移臺的步進位移分辨力,克服了傳統(tǒng)納米位移臺控制系統(tǒng)損失納米步進精度的缺點。通過實驗驗證了此位移臺控制新方法的可行性,位移臺移動方式和理論吻合。