摘要：為了有效降低GaAs表面態(tài)密度,獲得穩(wěn)定的高性能鈍化膜,使用聯(lián)氨溶液鈍化GaAs(100)表面。通過光致發(fā)光對聯(lián)氨溶液濃度、Na 2S濃度和鈍化時(shí)間進(jìn)行了優(yōu)化。聯(lián)氨溶液鈍化后GaAs樣品的PL比未處理的增加了1.22倍。采用X射線光電子能譜和原子力顯微鏡分析了聯(lián)氨溶液鈍化前后GaAs的表面成分和形貌。結(jié)果表明,聯(lián)氨溶液鈍化GaAs表面可以有效地去除表面氧化物,形成均勻、平整的GaN鈍化層。通過表面穩(wěn)定性測試發(fā)現(xiàn),鈍化后的GaAs表面在空氣中放置數(shù)天,光致發(fā)光強(qiáng)度未見明顯的退化(30 d內(nèi)PL強(qiáng)度降低7%),說明鈍化后GaAs表面的穩(wěn)定性良好。