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三重圖樣光刻與定向自組裝技術下通孔層的分解
李興權; 吳莉莉; 朱文興 閩南師范大學數學與統計學院; 福建漳州363000; 福州大學離散數學研究中心; 福建福州350108
- 掩模版
- 引導槽
- 分配
- 定向自組裝
- 三重圖樣光刻
摘要：針對三重圖樣光刻和定向自組裝技術下通孔層的掩模版和引導槽分配問題,首先為給定版圖構造一個加權沖突分組圖;然后,基于加權沖突分組圖提出一個整數線性規劃模型.同時,為了加快整數規劃的求解速度,引入一些有效的不等式將一些不好的結果剪枝掉.對比當前相關工作,基于整數規劃的方法可以減少42倍的沖突數目和78%的總成本.
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