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三重圖樣光刻與定向自組裝技術(shù)下通孔層的分解
李興權(quán); 吳莉莉; 朱文興 閩南師范大學數(shù)學與統(tǒng)計學院; 福建漳州363000; 福州大學離散數(shù)學研究中心; 福建福州350108
- 掩模版
- 引導槽
- 分配
- 定向自組裝
- 三重圖樣光刻
摘要：針對三重圖樣光刻和定向自組裝技術(shù)下通孔層的掩模版和引導槽分配問題,首先為給定版圖構(gòu)造一個加權(quán)沖突分組圖;然后,基于加權(quán)沖突分組圖提出一個整數(shù)線性規(guī)劃模型.同時,為了加快整數(shù)規(guī)劃的求解速度,引入一些有效的不等式將一些不好的結(jié)果剪枝掉.對比當前相關工作,基于整數(shù)規(guī)劃的方法可以減少42倍的沖突數(shù)目和78%的總成本.
- 掩模版
- 引導槽
- 分配
- 定向自組裝
- 三重圖樣光刻
摘要：針對三重圖樣光刻和定向自組裝技術(shù)下通孔層的掩模版和引導槽分配問題,首先為給定版圖構(gòu)造一個加權(quán)沖突分組圖;然后,基于加權(quán)沖突分組圖提出一個整數(shù)線性規(guī)劃模型.同時,為了加快整數(shù)規(guī)劃的求解速度,引入一些有效的不等式將一些不好的結(jié)果剪枝掉.對比當前相關工作,基于整數(shù)規(guī)劃的方法可以減少42倍的沖突數(shù)目和78%的總成本.
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