集成式表面鍍膜微型溫度/熱流傳感器的初步研制與測試

摘要：基于高速飛行器表面大面積熱環(huán)境精確測量和轉(zhuǎn)捩面測量的需要,本文專門設(shè)計(jì)了集成式點(diǎn)測量薄膜電阻溫度計(jì),在50mm×50mm的玻璃基底上實(shí)現(xiàn)了25個測量單元,對制造的電阻溫度進(jìn)行了相關(guān)的測試工作,并對測得值的不確定度進(jìn)行了分析。研究表明:不同方案制造的鉑電阻溫度計(jì)的電阻值均在150Ω以上,熱點(diǎn)系數(shù)的平均線性斜率為0. 261,且熱電阻的抗沖刷性能良好。本文設(shè)計(jì)的傳感器為下一步開展大面積精細(xì)化熱環(huán)境測量和轉(zhuǎn)捩陣面分析奠定了測試基礎(chǔ)。