電射流高頻脈沖電源主電路的仿真與研究

摘要：針對(duì)電射流掩膜加工工藝對(duì)電源的性能要求,提出了高頻逆變的解決方案。自行設(shè)計(jì)高頻脈沖電源主電路,通過整流濾波橋式逆變,實(shí)現(xiàn)對(duì)頻率、占空比的調(diào)節(jié),利用SimPowerSystems軟件建立了仿真模型,對(duì)逆變器輸出交流電壓、逆變器輸出交流電流、直流側(cè)電壓、直流側(cè)電流進(jìn)行仿真分析。利用電力電子控制設(shè)備搭建了實(shí)驗(yàn)平臺(tái),對(duì)驅(qū)動(dòng)電路的輸入輸出、逆變電路IGBT的通斷控制等進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)表明,研制的主電路在高頻逆變下能夠?qū)ω?fù)載(燈泡)進(jìn)行控制,驗(yàn)證了實(shí)驗(yàn)裝置的合理性和科學(xué)性。