首頁 > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 工程科技II > 儀器儀表工業(yè) > 納米技術(shù)與精密工程 > 一種適用于原位納米力學(xué)測試的AFM測頭 【正文】
一種適用于原位納米力學(xué)測試的AFM測頭
李艷寧; 曾薈燕; 吳森; 劉璐; 胡曉東 精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室(天津大學(xué)); 天津300072
- 納米力學(xué)
- 原子力顯微鏡
- 壓電掃描器
- 光杠桿
- 電容傳感器
摘要：設(shè)計并制作了一種適用于原位納米力學(xué)測試的原子力顯微鏡（AFM）測頭.測頭由光學(xué)檢測系統(tǒng)和Z向壓電陶瓷微位移機構(gòu)組成.其中光學(xué)檢測系統(tǒng)采用光杠桿與顯微鏡同軸光路檢測探針形變,壓電位移機構(gòu)內(nèi)置電容傳感器可實現(xiàn)探針進給量的閉環(huán)控制.標(biāo)定實驗表明該測頭閉環(huán)位移分辨力優(yōu)于10 nm,在標(biāo)定范圍內(nèi)具有很好的線性.利用該測頭對某型微懸臂梁法向彈性常數(shù)進行了測量,測得值與采用具有溯源性的標(biāo)定方法所得結(jié)果一致.
- 納米力學(xué)
- 原子力顯微鏡
- 壓電掃描器
- 光杠桿
- 電容傳感器
摘要：設(shè)計并制作了一種適用于原位納米力學(xué)測試的原子力顯微鏡（AFM）測頭.測頭由光學(xué)檢測系統(tǒng)和Z向壓電陶瓷微位移機構(gòu)組成.其中光學(xué)檢測系統(tǒng)采用光杠桿與顯微鏡同軸光路檢測探針形變,壓電位移機構(gòu)內(nèi)置電容傳感器可實現(xiàn)探針進給量的閉環(huán)控制.標(biāo)定實驗表明該測頭閉環(huán)位移分辨力優(yōu)于10 nm,在標(biāo)定范圍內(nèi)具有很好的線性.利用該測頭對某型微懸臂梁法向彈性常數(shù)進行了測量,測得值與采用具有溯源性的標(biāo)定方法所得結(jié)果一致.
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納米技術(shù)與精密工程
- 預(yù)計1-3個月 預(yù)計審稿周期
- 0.47 影響因子
- 工業(yè) 快捷分類
- 季刊 出版周期
主管單位：Ministry of Education of the People’s Republic of China;主辦單位：Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology
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