基于熱反射法的微納結構熱掃描技術研究

摘要：隨著微電子及微納加工技術的飛速發展,電子器件的發熱和熱管理成為制約器件性能進一步提升的關鍵因素,微納結構的熱物性是電子器件熱設計中最關鍵的參數之一,因而對微納結構材料的熱物性進行測量,對于微納器件和材料的熱設計和熱優化具有極為重要的意義。基于光熱反射法,利用雙波長飛秒激光抽運探測熱反射系統對微納結構材料的熱物性進行了測量。此外,還通過樣品表面的微區熱掃描,實現了對微納結構形貌和熱性質的對比和表征,并分析了系統的空間分辨率。