摘要：隨著微電子及微納加工技術(shù)的飛速發(fā)展,電子器件的發(fā)熱和熱管理成為制約器件性能進一步提升的關(guān)鍵因素,微納結(jié)構(gòu)的熱物性是電子器件熱設(shè)計中最關(guān)鍵的參數(shù)之一,因而對微納結(jié)構(gòu)材料的熱物性進行測量,對于微納器件和材料的熱設(shè)計和熱優(yōu)化具有極為重要的意義。基于光熱反射法,利用雙波長飛秒激光抽運探測熱反射系統(tǒng)對微納結(jié)構(gòu)材料的熱物性進行了測量。此外,還通過樣品表面的微區(qū)熱掃描,實現(xiàn)了對微納結(jié)構(gòu)形貌和熱性質(zhì)的對比和表征,并分析了系統(tǒng)的空間分辨率。