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    基于掃描電子顯微鏡的集成電路顯微拍攝系統

    劉偉 殷伯華 山東理工大學電氣與電子工程學院 山東淄博255049 中國科學院電工研究所 北京100080
    • 芯片顯微拍攝
    • 電子束控制器
    • 壓電陶瓷電機

    摘要:提出使用掃描電子顯微鏡來獲取集成電路芯片的形貌圖像,以彌補光學顯微鏡分辨率的不足。利用拼接的方法來獲得完整的芯片形貌圖像。描述了壓電陶瓷電機驅動工件臺的工作原理。該工件臺的定位誤差小于20nm,可使臨近圖像的重疊區域保持一致。介紹了使用電子束掃描控制器對電鏡掃描場進行增益、旋轉和位移校正的方法,使獲得的芯片圖像不需旋轉即可進行拼接,減少了后續圖像處理軟件的工作量。實驗證明,該系統可以獲得亞微米級芯片的清晰圖像。

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