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LiNbO3單晶薄膜體聲波諧振器的研制
彭霄; 田本朗; 毛世平; 杜波; 蔣欣; 徐陽; 馬晉毅; 蔣平英 中國電子科技集團公司第二十六研究所; 重慶400060
- 機電耦合
- 智能截割
- 薄膜體聲波諧振器
摘要：該文介紹了一種采用智能截割(Smart CutTM)技術制備的單晶鈮酸鋰(LiNbO3)薄膜體聲波諧振器。采用COMSOL有限元仿真軟件從材料和結構兩方面對LiNbO3薄膜體聲波諧振器進行優(yōu)化設計,以實現(xiàn)高機電耦合系數(shù),并通過Smart CutTM工藝方法制備了高性能Z切-LiNbO3單晶薄膜作為諧振器的壓電層,最終得到LiNbO3薄膜體聲波諧振器的諧振頻率為3847.5MHz,反諧振頻率為3986.25MHz,插入損耗為1.81dB,諧振器有效機電耦合系數(shù)達到8.3%。
- 機電耦合
- 智能截割
- 薄膜體聲波諧振器
摘要：該文介紹了一種采用智能截割(Smart CutTM)技術制備的單晶鈮酸鋰(LiNbO3)薄膜體聲波諧振器。采用COMSOL有限元仿真軟件從材料和結構兩方面對LiNbO3薄膜體聲波諧振器進行優(yōu)化設計,以實現(xiàn)高機電耦合系數(shù),并通過Smart CutTM工藝方法制備了高性能Z切-LiNbO3單晶薄膜作為諧振器的壓電層,最終得到LiNbO3薄膜體聲波諧振器的諧振頻率為3847.5MHz,反諧振頻率為3986.25MHz,插入損耗為1.81dB,諧振器有效機電耦合系數(shù)達到8.3%。
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