Mobile產品異物產生機理及改善研究

摘要：異物是TFT-LCD制程常見的頑固缺陷,在高世代線(8.5代線)以摩擦工藝生產mobile產品時不良發生率更高。本文針對8.5代線生產Mobile產品時所產生的異物進行原因及機理分析,發現該異物來源于摩擦制程,產生機理為:摩擦輥在玻璃基板上摩擦時,布毛容易刮起配向膜而產生細小的PI碎屑。為此本文從摩擦強度、單輥摩擦和光配向工藝進行實驗,實驗結果顯示:對于改善細小的PI碎屑最優工藝為光配向,異物不良由2.34%降至0.41%。在最優的光配向工藝條件下繼續優化清洗機條件:在高壓氣液混合噴射(HPMJ)的壓力8 MPa、清洗機速度6 600mm/min和風刀噴淋(AK Shower)打開條件下異物不良降至0.16%,改善效果明顯。