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淺述多晶硅生產用沉積載體
楊永亮; 石何武; 姜利霞; 張升學 中國恩菲工程技術有限公司; 北京100038
- 多晶硅
- 沉積載體
- 硅芯
- 加工方式
- 生產成本
摘要：基于沉積載體硅芯的形態,介紹了圓硅芯、方硅芯和中空硅芯等3種加工方式,并從原料成本、設備折舊、能源消耗、人力成本、制造費用等關鍵生產要素方面對硅芯的生產成本進行估算,同時分析了硅芯的應用情況,并總結了多年來多晶硅生產實際應用的經驗。
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