首頁(yè) > 期刊 > 自然科學(xué)與工程技術(shù) > 工程科技II > 工業(yè)通用技術(shù)及設(shè)備 > 真空 > 用于OLED試驗(yàn)的小型真空制備系統(tǒng)設(shè)計(jì) 【正文】
用于OLED試驗(yàn)的小型真空制備系統(tǒng)設(shè)計(jì)
隋文; 張馳; 李建昌 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院真空流體工程研究中心; 遼寧沈陽(yáng)110819
- oled器件
- 真空蒸發(fā)鍍膜
- 手套箱
- oled封裝
摘要：基于國(guó)內(nèi)外OLED制備系統(tǒng)的特點(diǎn),設(shè)計(jì)了OLED研究專用小型真空試驗(yàn)系統(tǒng)。布局將掩模室、蒸鍍室、過(guò)渡室和手套箱線性排列,可實(shí)現(xiàn)不同膜層結(jié)構(gòu)OLED器件的有機(jī)薄膜和電極的原位沉積,提供了封裝所需超低水氧含量的清潔環(huán)境。對(duì)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、核心部件及抽氣系統(tǒng)做了分析計(jì)算及論述。
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