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用于OLED試驗的小型真空制備系統設計
隋文; 張馳; 李建昌 東北大學機械工程與自動化學院真空流體工程研究中心; 遼寧沈陽110819
- oled器件
- 真空蒸發鍍膜
- 手套箱
- oled封裝
摘要：基于國內外OLED制備系統的特點,設計了OLED研究專用小型真空試驗系統。布局將掩模室、蒸鍍室、過渡室和手套箱線性排列,可實現不同膜層結構OLED器件的有機薄膜和電極的原位沉積,提供了封裝所需超低水氧含量的清潔環境。對系統結構、核心部件及抽氣系統做了分析計算及論述。
- oled器件
- 真空蒸發鍍膜
- 手套箱
- oled封裝
摘要：基于國內外OLED制備系統的特點,設計了OLED研究專用小型真空試驗系統。布局將掩模室、蒸鍍室、過渡室和手套箱線性排列,可實現不同膜層結構OLED器件的有機薄膜和電極的原位沉積,提供了封裝所需超低水氧含量的清潔環境。對系統結構、核心部件及抽氣系統做了分析計算及論述。
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真空
- 預計1-3個月 預計審稿周期
- 1.38 影響因子
- 工業 快捷分類
- 雙月刊 出版周期
主管單位：中國機械工業集團有限公司;沈陽真空技術研究所有限公司;主辦單位：中國機械工業集團有限公司;沈陽真空技術研究所有限公司
