電弧離子鍍Cr/CrN多層膜的耐腐蝕性研究

摘要：采用電弧離子鍍技術制備了Cr/CrN多層膜,通過控制每個Cr層和CrN層的沉積時間獲得不同調制比,從微觀組織和腐蝕行為兩方面研究了調制比對Cr/CrN多層膜的影響。結果表明,引入Cr層對CrN薄膜沉積過程中生長的柱狀結構有抑制作用,孔隙率更低,結構更加致密。動電位極化曲線和電化學阻抗譜表明,與純CrN薄膜相比,Cr/CrN多層膜的腐蝕電位增加了約100 mV,腐蝕電流密度降低一個數量級以上,多層膜的耐腐蝕性能得到明顯提升。