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    首頁 > 期刊 > 自然科學與工程技術 > 工程科技II > 工業通用技術及設備 > 真空 > 真空系統的故障診斷與排除 【正文】

    真空系統的故障診斷與排除

    姜燮昌 沈陽真空技術研究所; 遼寧沈陽110042; 中國真空學會
    • 真空獲得設備
    • 故障診斷及排除

    摘要:本文討論了應用于真空工藝的各種真空獲得技術,并提供了多年在使用和操作過程中積累的售后服務經驗。當真空裝置需要維修時,系統地對故障進行分析診斷和采取正確的糾正措施都是同樣重要。

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