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			真空系統的故障診斷與排除 【正文】
			
		
    

		
    
			
    
				 
				
    真空系統的故障診斷與排除
    
				
				
    
					姜燮昌  沈陽真空技術研究所; 遼寧沈陽110042; 中國真空學會
				
    
				
				
				
    
					
      
						
						
    • 真空獲得設備
      • 
						
    • 故障診斷及排除
      • 
					
    
				
    
				
				
    摘要：本文討論了應用于真空工藝的各種真空獲得技術,并提供了多年在使用和操作過程中積累的售后服務經驗。當真空裝置需要維修時,系統地對故障進行分析診斷和采取正確的糾正措施都是同樣重要。
    
				
				
				
    注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
    
				
				
    
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    真空
    
		
      
			
			
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