高頻高壓低溫等離子體發(fā)生研究

摘要：針對(duì)傳統(tǒng)氣體放電式等離子體發(fā)生器電源效率不高、使用壽命有限等問(wèn)題,提出了一種零電壓軟開關(guān)高頻高壓低溫等離子體發(fā)生方法,并設(shè)計(jì)了一個(gè)高效率低損耗的高頻高壓低溫等離子體發(fā)生系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)移相全橋軟開關(guān)控制電路提供控制信號(hào),光耦隔離電路降低強(qiáng)電干擾,在零電壓軟開關(guān)驅(qū)動(dòng)下,經(jīng)高頻諧振升壓電路對(duì)輸入信號(hào)升壓,實(shí)現(xiàn)低溫等離子體的穩(wěn)定發(fā)生。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,系統(tǒng)工作頻率穩(wěn)定在262kHz,系統(tǒng)能夠穩(wěn)定發(fā)生低溫等離子體,等離子體束長(zhǎng)可達(dá)13.1cm,系統(tǒng)工作穩(wěn)定后,零電壓軟開關(guān)系統(tǒng)的效率為87.4%,與傳統(tǒng)直流等離子體發(fā)生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)管耗的降低和輸入電源效率的提升。