摘要：本文設計制作了基于鋁基襯底的微溝道陣列器件,并研究了納秒脈沖微溝道等離子體放電特性。通過調控納秒脈沖輸出波形,獲得了脈沖參數對微溝道等離子體放電特性的影響規律。結果表明,相比于傳統的正弦波驅動,納秒脈沖微溝道等離子體放電更集中,耦合效應更明顯,且等離子體特性更易于調控。當改變脈沖參數時,6%左右的波形過沖電壓會造成微溝道等離子體放電強度~30%的改變。另外,脈沖上升沿時間越短,放電強度越高,當上升沿時間由152 ns縮短至32 ns時,放電強度可提升~30%。